GARANTIE
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Lynx Deuxième option d’entrée pour PVD 5840 O/DO/UO
Garantie 2 ans
Points Forts du produit
- Système PVD haute performance à faible coût
- Conception à deux chambres pour le dépôt de deux matériaux différents en un seul processus
- Système de rétroaction en boucle fermée pour un contrôle précis du processus de dépôt
- Étage de substrat chauffé pour le dépôt de films à des températures élevées
- Système de verrouillage de charge pour le chargement et le déchargement rapides des substrats
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Description
Lynx Deuxième option d’entrée pour PVD 5840 O/DO/UO
Dans la boîte
- 1 x Lynx Deuxième option d’entrée pour PVD 5840 O/DO/UO
Lynx Deuxième option d’entrée pour PVD 5840 O/DO/UO
Le Lynx Deuxième option d’entrée pour PVD 5840 O/DO/UO est un système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à haute performance et à faible coût conçu pour une variété d’applications, y compris le dépôt de couches minces pour les dispositifs optiques, électroniques et semi-conducteurs.
Fiche technique
Taille du substrat : Jusqu’à 200 mm
Vitesse de dépôt : Jusqu’à 10 nm/min
Épaisseur du film : Jusqu’à 10 µm
Matériaux de dépôt : Une grande variété de matériaux, y compris les métaux, les semi-conducteurs et les oxydes
Caractéristiques
OC-5840-SCND
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